亞納米成為“中國(guó)精度”
最新發(fā)現(xiàn)與創(chuàng)新
中國(guó)科技網(wǎng)訊 1納米是一根頭發(fā)絲的8萬(wàn)分之一,而小于1納米則被稱為亞納米——這是國(guó)防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)在超精密光學(xué)零件加工中創(chuàng)造的“中國(guó)精度”,有力支撐了“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個(gè)國(guó)家重大科技專項(xiàng)創(chuàng)新突破,3年來為國(guó)家創(chuàng)造直接經(jīng)濟(jì)效益2億多元。近日,該校研制兩種超精拋光裝備通過國(guó)家重大科技專項(xiàng)驗(yàn)收。
超精密加工是以高精度為目標(biāo)的先進(jìn)制造技術(shù),納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)皇冠上的明珠,西方發(fā)達(dá)國(guó)家將其視為戰(zhàn)略資源,嚴(yán)格限制出口。面對(duì)我國(guó)光學(xué)零件制造水平的窘境,國(guó)防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)在李圣怡教授率領(lǐng)下,跳過一、二代光學(xué)零件制造加工技術(shù),直接瞄準(zhǔn)基于可控柔體制造的第三代光學(xué)加工方法開展攻關(guān),在國(guó)內(nèi)首次研制出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備,創(chuàng)造了我國(guó)光學(xué)零件加工亞納米的“中國(guó)精度”奇跡,使我國(guó)光學(xué)自動(dòng)化加工技術(shù)及工藝一躍進(jìn)入世界先進(jìn)水平,成為繼美、德之后第三個(gè)掌握高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)的國(guó)家,也是目前世界上唯一同時(shí)具有磁流變和離子束拋光裝備研發(fā)能力的國(guó)家。
近3年來,該團(tuán)隊(duì)與中科院、中國(guó)航天科技集團(tuán)、中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)等合作,推動(dòng)我國(guó)空間光學(xué)、高端裝備制造發(fā)展,自主研制出兩大類7個(gè)型號(hào)的磁流變和離子束拋光機(jī)床,為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對(duì)地觀測(cè)系統(tǒng)”等3個(gè)國(guó)家重大科技專項(xiàng)提供技術(shù)保障和裝備支撐,解決了一系列制約其創(chuàng)新發(fā)展的技術(shù)難題。團(tuán)隊(duì)先后獲得科技部重大科技專項(xiàng)頒發(fā)的“突出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”和“突出成果獎(jiǎng)”。(特約記者 王握文 王孝恭 記者唐先武)
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